溶解・蒸着装置用高周波加熱装置及び高周波加熱電源
溶解・蒸着用途にあわせて、各種高周波加熱電源(高周波インバータ)の品揃えがあります。
小型溶解装置用加熱電源の供給から、特殊溶解用途まで対応いたします。
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| 高周波溶解装置 | 加熱イメージ | 加熱コイル |
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| ■ 取扱製品(例) |
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| 溶解・蒸着 | 鉄鋼溶解装置 | 貴金属溶解 | 遠心鋳造装置 | 新素材の真空熔解 |
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| 真空熔解装置用電源 | 蒸着装置用電源 | シリコン熔解用電源(太陽電池、他) | ||
| 太陽光発電設備用電源 | 有機EL製造用電源 | |||
エリア均一加熱用IH電源(溶解用)
従来困難であった近接した多数坩堝の個別加熱制御により対象エリアを均一加熱制御可能なIH電源を開発、製品化しました。
用途/特長
■複数電源による個別出力制御により、対象エリアを均一に加熱
■干渉防止回路により、コイル間の相互干渉はありません。
■さらに、複数電源は1周波駆動のため、周波数差によるコイル間のビート発生もありません。
■高効率インバータを採用
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